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电阻率,碳氧含量,位错密度)5设备工艺控制保6自动化控制程度7设备主要关键部件的配置等。单晶炉型号定义\单晶炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径。用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。购技术主要要求1.单晶炉装料量(单台机产能多少)2.能拉多长。氦气为主)环境中单晶炉简介编辑/单晶炉是一种在惰性气体(氮气几寸的硅棒3.拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品质(少子寿命比如85炉氩气质量等\本文由rxl,欢迎大家完善。配置出合理的热场,从而保生产出来的单晶的品质。在晶体生长分析与设计中,实验与数值是相辅相成的,其过程可以分为两个部分:(1)在阶段。
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操作者观察窗口允许单晶直径测量范围大10”,氩气入口设置在炉盖的喉部。4、隔离阀座隔离阀座为双层水冷却结构,前圆后方,正前方设有一道圆门,可以通过圆门方便拆卸和更换籽晶夹头。圆门设有圆形观察窗。隔离阀座为隔离阀了及活动空间,隔离阀的作用是为籽晶或单晶进入副炉室的通道,同时可以维持上下炉室的局部压力和温度。隔离阀是翻板阀结构,阀板和阀体均是固定式双层结构,通水冷却。隔离阀座侧面设有两个籽晶位置检测窗口(激光),后部有一个氩气入口,可以实现快充氩气。5、副炉室副炉室为圆筒形腔体,双层结构,水冷却。副炉室上部前方设有一个圆形法兰,可以打用于腔体上部,法兰设有圆形观察窗。单晶生长顺利,而且品质较高,如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量,情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。因此在投资单晶生长企业的前期。
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