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设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统 ，并在实际生产中获得成应用。2　设计的关键图 1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速 n经减速器，齿轮齿条减速后带动提拉杆上下运动。根据硅单晶生产工艺 ，要求提拉速度 V能在 ( 0 .2～ 1 0 .0 ) mm/h内无级调节 ，它相对于给定信号的线性精度 ± 2 %。

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单晶炉的结构及基本作，炉子本体包括机架，坩埚驱动装置，主炉室，翻板阀，副炉室，籽晶提升机构，液压驱动装置，真空系统，冲氩气系统及水冷系统。机架由底座，上立柱和下立柱组成，是炉子的支撑装置。的光伏产业凭借着自身的努力，经过几年的发展，在综合实力上位居全球地位。的光伏自造产业，在帮助其他和地区实现节能减排的同时，有足够的能力来帮助实现自身能源结构的调整。提出到2015年光伏发电将达到15GW，发电量200亿千瓦时。核心提示：《规划》明确了七大领域的发展方向，制定了产业发展路线图，提出了各领域发展的标志性目标，提升整体创新能力与拓展市场应用等创新发展重大行动计划，主要政策措施，力图为产业发展指出更加清晰的发展方向。4为保温材津牛，5为保温罩，6为加热器，7为水套，8为石英埚，9为导流筒，IO为护盘，12为氩气输入管，11为分布有孔11-1的环形气体分布器，13为排气口。技术领域：本发明涉及一种直拉式单晶生长炉。背景技术：图1为切克劳斯基(直拉)法硅单晶的单晶炉剖面示意图，图1-2中，l为炉筒，2为保温盖。名称：直拉式单晶生长炉的方法直拉式单晶生长炉的方法3为保温盖直拉硅单晶在生长过程中需要向炉内不断充入氩气从而影响了单晶炉的使用寿命。因此上述图1的单晶炉的不足之处在于单晶炉内空间较大氩气流量为40L/min，因此其氩气消耗量大，生产成本较高。影响单晶炉的使用寿命。且其向炉内充入氩气时的充气气压在1.3xi03Pa以上，导致其氩气流量较大，故而氩气消耗量大，生产成本较高。