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具有自主知识产权。生产的单晶硅生长炉（TDR85/95/105-JN）单晶硅生长炉（TDR85/95/105-JN）DR—JN系列全自动晶体生长炉具有自主知识产权，是采用直拉法生长P型或N型单晶硅材料的专用设备。装料量从95Kg～150Kg，可拉制6"～12"电路级和太阳能级单晶硅棒。
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碗形的气流导向装置设于坩埚支持器下方和部的排气口之间，且气流导向装置的中轴孔及一对电极孔分别与该炉的石 墨中轴及一对电极孔配合设置，有效地减小了炉内空间，便于迅速及时地 将炉内的一氧化硅与氩气的混合气体排出，且利于减少热能和氩气的消耗量，使原有的引晶率从65KW减到61KW，另外，由于该炉的排气口与气流 导向装置的各通气孔相连通。整个炉内不存在排气 不畅的地方，即不存在排气死角，既有效地防止了一氧化硅气体对加热器 和坩埚支持器等石墨器件的腐蚀，还可使吸附在这些石墨器件上的杂质粉 尘减少30%以上，从而确保了该炉的使用寿命，使所述石墨器件的使用寿 命从原来的90炉次提高11G炉次以上，另外还可对硅晶体的生长过程起 到稳定作用，使平均成品率从原来的65%提高68%以上，并可提高单晶 的内在质量。
